一、现象明确化
在故障发生后的现场中调查在什么状态下停止的，有什么零件损坏，上一次的故障是什么时候，停止前有没有征兆等问题，一面问操作员，一面从现物确认，并记录下来。
二、暂时性处理
如果发现有损坏的零件，更换零件后重新开机运转，这虽然是缩短停机时间的处置方法，但并不是真正的对策。然而一般而言很多都只是更换零件就认为对策完成，这点是必须加以注意的。
三、追究原因的准备
在不了解设备的功能、构造及正确使用方法的情况下，贸然的下对策，可能使相同的现象反复发生，或者在修理部位的附近发生另一次的故障事例，这是因为没有找到真正的原因就更换零件或提升强度的缘故。这种情形下，必须使用相关设备或零件的图面或系统构成图，来了解设备的功能、构造和正确的使用方法。
四、追究原因
发现不合理的地方要以5WHY分析彻底追究发生的原因。因为故障的原因是人为的不良行动所致，所以要一直探讨到人的行动面。如果原因有很多个或是复合的原因，最好使用PM分析。
五、对策
在追究原因中出现的不合理状态要立即复原及改善，因为不立即处理会促使劣化的成长而影响到其它的部位，何况人的记忆是很容易淡忘的。在技术上、经济上、时间上有困难的，要拟定计划实施。对于有类似的设备要进行点检及处理方法平行推广。
六、防患未然
反省为什么没有在事前发现故障之源--不合理的地方，检讨有没有将其列入点检项目，要不要修订基准。更进一步要研究发掘劣化的异常时候的方法（预知保养）。
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